TU intern - Mai 1998 - Wissenschaft

OPTIK BEI BESSY /urs/ "Ellipsometrische Untersuchungen von Wide-Bandgap-Materialien im VUV-Spektralbereich" ist das Thema eines Projektes, das vom BMBF mit insgesamt 180000 DM über drei Jahre gefördert wird. Die Antragsteller sind Prof. Dr. Wolfgang Richter und Priv. Doz. Norbert Esser vom Institut für Festkörperphysik der TU Berlin zusammen mit Prof. Dr. Manuel Cardona vom Max-Planck-Institut für Festkörperforschung in Stuttgart. Die Ellipsometrie ist eine Untersuchungsmethode, mit deren Hilfe zerstörungsfrei die optischen Eigenschaften von Festkörpern, dünnen Filmen und Oberflächen bestimmt werden können. Deren Kenntnis ermöglicht einen Einblick in den atomaren Aufbau und die elektronische Struktur von Festkörpern. Sie ist auch wichtig im Bereich der Halbleitertechnologie, zum Beispiel bei der Qualitätskontrolle von Oberflächen und Beschichtungen, der Schichtdickenbestimmung und der Überwachung und Regelung von Wachstums- und Ätzprozessen. Das Projekt beschäftigt sich besonders mit den sogenannten Wide-Bandgap-Halbleitern, die in letzter Zeit in den Mittelpunkt des Interesses gerückt sind. Mit ihrer Hilfe sollen optolelektronische Bauelemente, wie Leucht- und Laserdioden oder Detektoren, die im blauen bis ultravioletten Spektralbereich arbeiten hergestellt werden. Zur Untersuchung der optischen Eigenschaften dieser Materialien wird das VUV-Ellipsometer bei BESSY eingesetzt. Mit Hilfe des dort erzeugten Synchrotronlicht ermöglicht dieses zur Zeit weltweit einzigartige Ellipsometer die Untersuchung der optischen Eigenschaften in einem Spektralbereich von 2.5 bis 35 Elektronvolt. Das Projekt ist Teil des BMBF Verbundprojektes Nr. 22 "Halbleitergrenzflächen: Morphologie und elektronische Eigenschaften".

FEHLER /tui/ In der Rubrik NEU BEWILLIGT der letzten Ausgabe hat sich ein Fehler eingeschlichen. Das Projekt von Prof. Peter Zimmermann zum Aufbau einer Meßstation bei BESSY II wird nicht mit 46000 DM sondern mit 460000 DM von der DFG finanziert.


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