Nächtlicher Ausflug in die partikelfreie Welt

TU Berlin, Institut für Hochfrequenztechnik und Halbleitersystemtechnologie, Forschungsschwerpunkt Technologien der Mikroperipherik

Reinstraum mit partikelfreier Luft Quelle: TU Berlin

Microchips sind im Auto, im Handy, im PC oder im Körper. Sie müssen verschiedene Eigenschaften besitzen, wie eine lange Lebensdauer im Herzschrittmacher oder Hitzetauglichkeit im Automotor. Wir geben Ihnen einen Einblick in die Verfahren zur Bearbeitung von Bauteilen der Mikroelektronik, wo Metallschichten mit wenigen Nanometern Dicke abgeschieden und feinste Strukturen mit wenigen tausendstel Millimetern Breite übertragen werden. Zur Besichtigung der Reinsträume mit partikelfreier Luft kleiden wir Sie reinraumgerecht mit Microfaseranzügen, Hauben und Plastikschuhen ein.

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Fakten
Gebäude:	Technologie- und Innovationspark Berlin, Gustav-Meyer-Allee 25, 13355 Berlin (ehem. AEG-Gelände)
Treffpunkt:	Gebäude 17a, Treppe 5, 2. Etage, Seminarraum 294
Führungen / Vorführungen:	stündlich 17.00 bis 24.00 Uhr, Dauer: 35-45 Minuten, jeweils max. 10 Personen
Ansprechpartner:	Dipl.-Phys. Oswin Ehrmann, Tel.: 030/314-72773, Fax: 030/314-24523, E-Mail: ehrmann@izm.fraunhofer.de